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配备范畴,12英寸常压硅外延设备完成小批量出售,要害目标到达世界领先水平;12英寸减压外延成长设备顺畅完成出售出货并获得重要客户复购。化合物氧化炉、激活炉及离子注入等设备客户验证发展顺畅。资料事务方面,公司成功建造12英寸衬底加工中试线,并向产业链客户进行送样验证;8英寸碳化硅衬底在全球客户验证发展顺畅,成功获取海内外客户的批量订单;12英寸光学级碳化硅衬底研制获得打破并小批量出产。

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